Аннотация

В статье рассмотрены вопросы измерения концентрации газов. При анализе концентрации газов и их смесей осуществлено определение качества и количества компонентов газовых смесей. Газовый анализ выполнен по лабораторным методикам с помощью специальных газоанализаторов. Обзор лабораторных и промышленных методов газового анализа основан на измерении физических параметров и свойств газовой среды. Наиболее перспективным методом проведения экспресс-анализа концентрации газовых смесей в промышленности является использование полупроводникового метода, при реализации которого измеряется сопротивление полупроводника (пленки или монокристалла), взаимодействующего с определяемым компонентом газовой смеси. Данный метод применяют для измерения содержания Н2, метана, пропана, О2, оксидов углерода и азота и др. Минимально определяемое значение концентрации метода лежит в пределах от 0,00001 до 0,00100%. В работе описан измеритель концентрации многокомпонентных газовых смесей. Чувствительный элемент первичного измерительного преобразователя выполнен в виде слоя допированного оксида олова (IV), полученного методом магнетронного распыления металлической мишени сложного состава. Для измерения концентрации NH3 и CO электронная схема осуществляет изменение и стабилизацию температуры резистивного слоя оксида олова в точках максимальной чувствительности к соответствующему газу. Вследствие малого теплового сопротивления чувствительного элемента и нагревателя, последний используется в качестве датчика температуры. Первичный измерительный преобразователь работает под управлением микропроцессорного контроллера и позволяет получить погрешность измерения не более 1 ppm.